головний
Крі Холл-джерело іонів Gridless
CTI На борту IS 低温泵
HVA вакуумний прямокутний клапан
Повний магнітний плаваючий турбомолекулярний насос
Thermonics ультранизькотемпературний холодильник
Інструмент і метр
США Крі Холл джерело іонів Gridless eH серії
США KRI Голл джерело іонів eH 400
США KRI Голл джерело іонів eH 1000
Успішна операція!