головний
Крі Холл-джерело іонів Gridless
CTI На борту IS 低温泵
HVA вакуумний прямокутний клапан
Повний магнітний плаваючий турбомолекулярний насос
Thermonics ультранизькотемпературний холодильник
Інструмент і метр
Повномагнітний плаваючий турбомолекулярний насос ATH 1600 MT
Thermonics Гіотемпература Охолодильник A-80-1700, Повітряне охолодження
Hakuto Іонний гравюратор IBE
Hakuto іонний гравюратор 20IBE-J
Прямокутний вакуумний клапан HVA (клапани з пластинами) серії 88200
CTI На борту® IS 320FX 低温泵
США Крі Холл джерело іонів Gridless eH серії
США KRI Голл джерело іонів eH 400
США KRI Голл джерело іонів eH 1000
Термокатодний вакуумітр PBR 260 IMR 265
Успішна операція!