Новий Pura Plus був спеціально розроблений для задоволення останніх змін вимог промисловості пластинок щодо розмірів та показників обладнання. Pura Plus - це онлайн-передатник зміни вологості, який монтажується на найвищому кінці газопостачання на заводі з напівпровідників, що веде до виробничої лінії, для моніторингу застосування надчистих інертних газів. Розподіл газових систем на заводі складний, включаючи багато гілок, вузлів та точок використання. Тому після звичайної точки моніторингу вологості може вплинути на нижче використання через невеликі витоки, неефективну конструкцію системи, збої компонентів або помилки процесу. Pura Plus, встановлений в системі розподілу, забезпечує швидку реакцію при рівні вологості 20 ppb. Час реакції при зміні 1 ppb менше 1 хвилини. Вилучення Швидка реакція на зміни вологості на рівні ppb Чутливість до низького рівня вологи ppb (<1 ppb) Нова концепція монтажу багатопокітних вимірювань Низькі вимоги до обслуговування Показатель стану сигнального світла Налаштування попереджень та сигналів Сумісність з мережею Modbus Багатоканальне програмне забезпечення для інтерфейсу дистанційного управління Виявлення трубопроводів для надчистих газів (UHP)
Технічні показники
Швидкість відповіді < 1 хвилина 20 ppb Зміна вологості 1 ppb Час реакції Вимірювання вологості 1 ppb до 20 000 ppm Диапазон тиску від 0 до 10 бар Рівень тиску 300 бар Випробування витоків 0-9 мбар л/с Диапазон робочого потоку 1 ~ 10 л / хв Робоча температура 5 ~ 40 ° C Температура зберігання 30 ~ 70 ° C живлення 20 ~ 28 В постійного струму споживання енергії 5 W Максимальна Рівень зовнішнього захисника 500 мА швидкого плавлення Вихід даних Modbus ASCII двопровідний RS485 Попередження та сигналізація 2 дороги Максимальна напруга 40 В постійного струму Максимальний струм 100 мА Матеріали для контакту з газом Матеріал корпусу Нержавіюча сталь AISI 316L, внутрішня поверхня електрополірована <10 Ra Структура датчика Електроліт оксиду алюмінію, верхній золотлений захист, нижній шар алюмінію Внутрішній обсяг 4,4 см³ вага 450г Інтерфейс повітряного шляху 1/4'м відеовідео Електричний інтерфейс 9-pin D-M інтерфейс Електромагнітна сумісність EN 50081-2 та EN 50082-2